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三合一之存片機生產(chǎn)工藝 將鏈?zhǔn)綗嵫踹^來的硅片經(jīng)過皮帶傳輸至刻蝕主機,當(dāng)刻蝕主機不希望進片時,硅片存入該機器,待刻蝕機恢復(fù)后發(fā)給刻蝕機。 適用機臺 5水道/10水道 各廠家主機通用 自動化配合 各個廠家自動化設(shè)備通用 產(chǎn)能 ≦10000pcs/h
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這款機注意原碎片的應(yīng)付,硅片的糾偏等,防止硅片留下污染,在出錯率和穩(wěn)定性方面要求很高 生產(chǎn)工藝 將鏈?zhǔn)綗嵫踹^來的硅片經(jīng)過皮帶傳輸至刻蝕主機,當(dāng)刻蝕主機不希望進片時,硅片存入該機器,待刻蝕機恢復(fù)后發(fā)給刻蝕機。 適用機臺 5水道/10水道 各廠家主機通用 自動化配合 各個廠家自動化設(shè)備通用 產(chǎn)能 ≦10000pcs/h 單臺碎片率 ≦0.01%(原碎片除外)A片 |